1. DL manuals
  2. Varian
  3. Water Pump
  4. 969-8217
  5. Instruction Manual

Varian 969-8217 Instruction Manual - Pompe Turbomolecolari

Summary of 969-8217

  • Page 1

    Tps-compact models: 969-8217 969-8218 969-8219 969-8220 969-8221 969-8222 969-8223 969-8224 969-8225 969-8226 969-8227 969-8228 969-8229 969-8230 969-8231 969-8232 87-901-010-01 april 2008 (i) manuale di istruzioni (d) bedienungshandbuch (f) notice de mode d’emploi (e) manual de instrucciones (p) ma...

  • Page 2: Tps-Compact

    Tps-compact.

  • Page 5

    Istruzioni per l’uso ...................................................................................................................................1 gebrauchsanleitung ..................................................................................................................................

  • Page 6: Pompe Turbomolecolari

    Istruzioni per l'uso 1/74 87-901-010-01 indicazioni di sicurezza per pompe turbomolecolari le pompe turbomolecolari descritte nel seguente manuale di istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel c...

  • Page 7

    Istruzioni per l'uso 2/74 87-901-010-01 informazioni generali questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La v...

  • Page 8

    Istruzioni per l'uso 3/74 87-901-010-01 il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio stringerli. Flangia tipo di morsetto n. Coppia di serraggio iso 63 morsetto doppio con filettatura m10 4 22 nm iso 100 k morsetto doppio con filettatura m10 4 22 nm iso 160 k morsetto doppio con f...

  • Page 9: Turbomolekularpumpen

    Gebrauchsanleitung 4/74 87-901-010-01 sicherheitshinweise für turbomolekularpumpen die in der folgenden gebrauchsanweisung beschriebenen turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen rotationsgeschwindigkeit in verbindung mit dem spezifischen gewicht ihrer rotoren über eine große menge kinetische...

  • Page 10

    Gebrauchsanleitung 5/74 87-901-010-01 allgemeine informationen dieser apparat ist für den fachmännischen gebrauch bestimmt. Vor dem gebrauch hat der benutzer dieses handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser nichtbeachtung der enthaltenen an...

  • Page 11

    Gebrauchsanleitung 6/74 87-901-010-01 mer anzuschließen. In der nachstehenden tabelle sind die an- zahl der klemmschellen und das anzugsmoment für die schel- lenarten angegeben. Flansch klemmschelle anz. Anzugsmoment iso 63 doppelschelle mit gewinde m10 4 22 nm iso 100 k doppelschelle mit gewinde m1...

  • Page 12

    Gebrauchsanleitung 7/74 87-901-010-01 entsorgung bedeutung des "weee" logos auf den etiketten das folgende symbol ist in Übereinstimmung mit der eu- richtlinie weee (waste electrical and electronic equipment) angebracht. Dieses symbol (nur in den eu-ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende pro...

  • Page 13: Pompe Turbomoléculaires

    Mode d’emploi 8/74 87-901-010-01 normes de sécurité pour pompe turbomoléculaires les pompes turbomoléculaires décrites dans le manuel d'instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système...

  • Page 14

    Mode d’emploi 9/74 87-901-010-01 indications gÉnÉrales cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire four...

  • Page 15

    Mode d’emploi 10/74 87-901-010-01 bride type de collier n. Couple de serrage iso 63 collier double à filet m10 4 22 nm iso 100 k collier double à filet m10 4 22 nm iso 160 k collier double à filet m10 4 22 nm la turbopompe à bride d'entrée conflat doit être fixée à la chambre à vide à l'aide des élé...

  • Page 16: Bombas Turbomoleculares

    Instrucciones de uso 11/74 87-901-010-01 indicaciones de seguridad para bombas turbomoleculares las bombas turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de ...

  • Page 17

    Instrucciones de uso 12/74 87-901-010-01 informaciÓn general este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por varian antes de usar el aparato. Varian se considera libre de posibles res...

  • Page 18

    Instrucciones de uso 13/74 87-901-010-01 tabla siguiente describe, por cada tipo de mordaza, el número de mordazas necesarias y con qué par de apriete apretarlas. Brida tipo de mordaza n. Par de apriete iso 63 mordaza doble con rosca m10 4 22 nm iso 100 k mordaza doble con rosca m10 4 22 nm iso 160 ...

  • Page 19

    Instrucciones de uso 14/74 87-901-010-01 eliminaciÓn significado del logotipo "weee" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva ce denominada "weee". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la comunidad europea) indica...

  • Page 20: Bombas Turbomoleculares

    InstruÇÕes para o uso 15/74 87-901-010-01 indicações de segurança para bombas turbomoleculares as bombas turbomoleculares descritas no seguinte manual de instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de av...

  • Page 21

    InstruÇÕes para o uso 16/74 87-901-010-01 informaÇÕes gerais esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela varian antes de utilizar a aparelhagem. A varian não se responsabiliza pela...

  • Page 22

    InstruÇÕes para o uso 17/74 87-901-010-01 flange tipo de grampo n. Torque de aperto iso 63 grampo duplo com rosca m10 4 22 nm iso 100 k grampo duplo com rosca m10 4 22 nm iso 160 k grampo duplo com rosca m10 4 22 nm a turbobomba com flange de entrada conflat deve ser fixada à câmara de vácuo através...

  • Page 23: Turbomoleculaire Pompen

    Gebruiksaanwijzingen 18/74 87-901-010-01 veiligheidsinstructies voor turbomoleculaire pompen de turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van ee...

  • Page 24

    Gebruiksaanwijzingen 19/74 87-901-010-01 algemene informatie deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet ...

  • Page 25

    Gebruiksaanwijzingen 20/74 87-901-010-01 flens klemtype nr. Aanhaal- koppel iso 63 dubbele klem met m10 schroefdraad 4 22 nm iso 100 k dubbele klem met m10 schroefdraad 4 22 nm iso 160 k dubbele klem met m10 schroefdraad 4 22 nm de turbopomp met conflat inlaatflens moet aan de vacuümpomp worden beve...

  • Page 26

    Gebruiksaanwijzingen 21/74 87-901-010-01 afvalverwerking betekenis van het logo "weee" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de eg-richtlijn "weee". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de europese gemeenschap) geeft aan dat het product waarop he...

  • Page 27: Molekylære Turbopumper

    Brugsanvisning 22/74 87-901-010-01 sikkerhedsanvisninger for molekylære turbopumper de molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i sys...

  • Page 28

    Brugsanvisning 23/74 87-901-010-01 generel information dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af...

  • Page 29

    Brugsanvisning 24/74 87-901-010-01 flange klemmetype ant. Drejnings- moment iso 63 dobbelt klemme med m10 gevind 4 22 nm iso 100 k dobbelt klemme med m10 gevind 4 22 nm iso 160 k dobbelt klemme med m10 gevind 4 22 nm turbopumpen med conflat indløbsflange skal tilsluttes på vakuumkammeret ved hjælp a...

  • Page 30: Molekylära Turbopumpar

    Bruksanvisning 25/74 87-901-010-01 säkerhetsanvisningar för molekylära turbopumpar de molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund a...

  • Page 31

    Bruksanvisning 26/74 87-901-010-01 allmÄn information utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador som helt eller delvis beror på åsidosättande av ...

  • Page 32

    Bruksanvisning 27/74 87-901-010-01 flÄns typ av klammer ant. Åtdragnings -moment iso 63 dubbel klammer, gänga m10 4 22 nm iso 100 k dubbel klammer, gänga m10 4 22 nm iso 160 k dubbel klammer, gänga m10 4 22 nm turbopumparna med intagsfläns conflat ska fästas vid vakuumkammaren med hjälp av varian fä...

  • Page 33: Turbomolekylære Pumper

    Brukerveiledning 28/74 87-901-010-01 sikkerhetsanvisninger for turbomolekylære pumper turbomolekylærpumpene som er beskrevet i den følgende bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle fe...

  • Page 34

    Brukerveiledning 29/74 87-901-010-01 generell informasjon dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglen...

  • Page 35

    Brukerveiledning 30/74 87-901-010-01 flens type klemme ant. Stramme-moment iso 63 dobbel klemme, gjenge m10 4 22 nm iso 100 k dobbel klemme, gjenge m10 4 22 nm iso 160 k dobbel klemme, gjenge m10 4 22 nm turbopumpen med conflat inngangsflens skal festes til vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle l...

  • Page 36: Turbomolekyylipumppujen

    KÄyttÖohjeet 31/74 87-901-010-01 turbomolekyylipumppujen turvaohjeet tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja ...

  • Page 37

    KÄyttÖohjeet 32/74 87-901-010-01 yleisiÄ tietoja tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydelli...

  • Page 38

    KÄyttÖohjeet 33/74 87-901-010-01 laippa kiinnike mÄÄrÄ kiristys- momentti iso 63 kaksoiskiinnike, kierteitys m10 4 22 nm iso 100 k kaksoiskiinnike, kierteitys m10 4 22 nm iso 160 k kaksoiskiinnike, kierteitys m10 4 22 nm turbopumppu conflat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammioon sopivien...

  • Page 39

    Odhgies crhshs 34/74 87-901-010-01 Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρ...

  • Page 40

    Odhgies crhshs 35/74 87-901-010-01 genikes plhrofories autˇ h suskeuˇ proor∂zetai gia epaggelmatikˇ crˇsh. O crˇsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parèntoj egceir∂diou kai opoiadˇpote £llh prèsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h varian, prin apè th crhsimopo∂hsh thj suskeuˇj. H varian den...

  • Page 41

    Odhgies crhshs 36/74 87-901-010-01 h tourmpoantl∂a me fl£ntza eisèdou conflat pr◊pei na sterewqe∂ sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn varian. Gia perissèterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma "tecnik◊j plhrofor∂ej". Shmeiwsh to tps-compact den mpore∂ na sterewqe∂ diam◊sou thj b...

  • Page 42

    HasznÁlati utasÍtÁs 37/74 87-901-010-01 biztonsági útmutató turbómolekuláris szivattyúkhoz a turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következ ő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás m űködése – péld...

  • Page 43

    HasznÁlati utasÍtÁs 38/74 87-901-010-01 ÁltalÁnos informÁciÓ a berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés m űködtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a varian által biztosított bármely információt. A varian nem vonható felel ősségre olyan es...

  • Page 44

    HasznÁlati utasÍtÁs 39/74 87-901-010-01 karima rÖgzÍt Ő eszkÖz n. RÖgzÍt Ő nyomatÉk iso 63 m10 kapcsok 4 22 nm iso 100 k m10 kapcsok 4 22 nm iso 160 k m10 kapcsok 4 22 nm a conflat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelel ő varian hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért lá...

  • Page 45: Pomp Turbomolekularnych

    Instrukcja uzytkowania 40/74 87-901-010-01 wskazówki dotycz ące bezpieczeństwa dla pomp turbomolekularnych pompy turbomolekularne opisane w niniejszej instrukcji obs ługi posiadają wysoką energię kinetyczn ą spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku usz...

  • Page 46

    Instrukcja uzytkowania 41/74 87-901-010-01 ogÓlne informacje ta aparatura jest przeznaczona do u żytku zawodowego. U żytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję ka żdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę varian przed u żytkowaniem aparatury. Firma varian uchyla się od jaki...

  • Page 47

    Instrukcja uzytkowania 42/74 87-901-010-01 w niniejszej tabeli przedstawione zosta ły, dla każdego typu zacisku, ilo ść potrzebnych zacisków i moment dokręcenia ich. Ko Łnierz typ zacisku nr. Moment dokr Ęcenia iso 63 podwójny zacisk z gwintem m10 4 22 nm iso 100 k podwójny zacisk z gwintem m10 4 22...

  • Page 48

    Instrukcja uzytkowania 43/74 87-901-010-01 przetworstwo odpadow objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “weee”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “weee” unii europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach unii europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zos...

  • Page 49: Turbomolekulární Výv

    P ŘÍruČka k pouŽitÍ 44/74 87-901-010-01 bezpe čnostní návod pro turbomolekulární výv ěvy turbomolekulární výv ěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otá čivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotor ů. V p řípadě systémové...

  • Page 50

    P ŘÍruČka k pouŽitÍ 45/74 87-901-010-01 vŠeobecnÉ informace toto za řízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím za řízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou varian. Firma varian neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodrž...

  • Page 51

    P ŘÍruČka k pouŽitÍ 46/74 87-901-010-01 p ŘÍruba p ŘÍchytnÉ za ŘÍzenÍ po Čet utahovacÍ moment iso 63 spony m10 4 22 nm iso 100 k spony m10 4 22 nm iso 160 k spony m10 4 22 nm turbomolekulární výv ěva se vstupní přírubou conflat se musí p řipevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu firmy...

  • Page 52: Turbomolekulárne Vývevy

    NÁvod k pouŽitiu 47/74 87-901-010-01 bezpe čnostný návod pre turbomolekulárne vývevy turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú ve ĺké množstvo kinetickej energie v ďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. ...

  • Page 53

    NÁvod k pouŽitiu 48/74 87-901-010-01 vŠeobecnÉ informÁcie toto zariadenie je ur čené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než za čnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti varian. Spoločnosť varian nenesie žiadnu zodpovednos ť za akékoľvek udalosti...

  • Page 54

    NÁvod k pouŽitiu 49/74 87-901-010-01 prÍruba upev ŇovacÍ mechanizmus po Čet upev ŇovacÍ krÚtiaci moment iso 63 svorky m10 4 22 nm iso 100 k svorky m10 4 22 nm iso 160 k svorky m10 4 22 nm turbovýveva so vstupnou prírubou conflat musí by ť pripojená k vákuovej komore pomocou vhodného hardware zna čky...

  • Page 55: Turbomolekularne

    Navodila za uporabo 50/74 87-901-010-01 varnostna navodila za turbomolekularne črpalke turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifi čnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na...

  • Page 56

    Navodila za uporabo 51/74 87-901-010-01 sploŠne informacije oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval varian. Varian ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodi...

  • Page 57

    Navodila za uporabo 52/74 87-901-010-01 prirobnica naprava za pritrjevanje n. Navor iso 63 m10 držala 4 22 nm iso 100 k m10 držala 4 22 nm iso 160 k m10 držala 4 22 nm turbo črpaklo z dovodno conflat prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko ležiš če s pomočjo primerne varian strojne opreme. Za dod...

  • Page 58: Turbomolecular Pumps

    Instructions for use 53/74 87-901-010-01 safety guideline for turbomolecular pumps turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunc...

  • Page 59

    Instructions for use 54/74 87-901-010-01 general information this equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by varian before operating the equipment. Varian will not be held responsible for any events oc...

  • Page 60

    Instructions for use 55/74 87-901-010-01 the turbopump with conflat inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate varian hardware. See the appendix "technical information" for a detailed description. Note the tps-compact cannot be fixed by means of its base. For instal...

  • Page 61

    Technical information 56/74 87-901-010-01 description of the tps-compact the tps-compact pumping system consists of a pump with an integrated controller and a forepump and is available in sixteen models which differ in the tpm size, high vacuum flange and voltage. The models are: p/n tmp flange fore...

  • Page 62

    Technical information 57/74 87-901-010-01 scroll pump description the tps-compact internal scroll creates vacuum using a simple dual scroll mechanism in which one of the nested scrolls orbits about the other, creat- ing moving zones of captured gas. Gas enters the scroll set at the perimeter and is ...

  • Page 63

    Technical information 58/74 87-901-010-01 tps-compact outline the following figure shows the tps-compact outline. Dimensions are in mm. Pressure x10 pa mbar torr pa mbar torr pressure x10 tps-compact equipped with tv301 0 50 100 150 200 250 0,0001 0,001 0,01 0,1 inlet pressure (mbar) pumpi ng speed ...

  • Page 64

    Technical information 59/74 87-901-010-01 tps-compact equipped with tv81m 0 10 20 30 40 50 60 70 0,0001 0,001 0,01 0,1 inlet pressure (mbar) pu mp in g sp e e d (l/s) graph of pumping speed vs inlet pressure tps-compact tv301/tv81m - 14lt pump down 1,e-06 1,e-05 1,e-04 1,e-03 1,e-02 1,e-01 1,e+00 1,...

  • Page 65

    Technical information 60/74 87-901-010-01 inlet screen installation the inlet screens mod. 969-9300, 969-9309, 969-9302 and 969-9303 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pump- ing speed by about 10%. The ...

  • Page 66

    Technical information 61/74 87-901-010-01 high vacuum flange connection to connect the turbo pump to the iso inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure. For conflat flange connec...

  • Page 67

    Technical information 62/74 87-901-010-01 interconnections input power connector the following figure show the input power connec- tor. Bipolar switch iec320 connector fuses line gnd line p3 – vent vent connector this is a dedicated 24 vdc connector to control the optional vent valve (available on r...

  • Page 68

    Technical information 63/74 87-901-010-01 vent valve diagram in “auto” mode gauge connector tps-compact is equipped with new generation gauge reading card able to drive/read a varian “eyesys mini-img” gauge or a varian full range gauge frg-700. The eyesys mini-img is a vacuum measurement instrument ...

  • Page 69

    Technical information 64/74 87-901-010-01 eyesys mini-img gauge dimension frg-700 gauge dimension j5 – in-out this connector carries all the input and output sig- nals to remote control the tps-compact. It is a 15-pins d type connector; the available sig- nals are detailed in the table, the followin...

  • Page 70

    Technical information 65/74 87-901-010-01 • amplitude: 24 v max • duty cycle range: from 25% to 75% • corresponding to a pump speed from 1100hz to 1350hz (see the following diagram). 1050 1100 1150 1200 1250 1300 1350 1400 20 30 40 50 60 70 80 duty cycle [%] excita tio n f req uen c y [hz] programma...

  • Page 71

    Technical information 66/74 87-901-010-01 it is possible to delay the set point checking for a programmable delay time. The programmable set point signal has the following default settings: − reference quantity: frequency − thereshold: 867 hz − hysteresis: 2% − activation type: high level − delay ti...

  • Page 72

    Technical information 67/74 87-901-010-01 how to connect the outputs of the controller the following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.G. A led, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The fig- ure exam...

  • Page 73

    Technical information 68/74 87-901-010-01 the communication port mating connector is sup- plied with the rs232 pcb (amp/cannon or equivalent 15-pin “d” type male connector). For example, the transmit data signal from con- troller (pin 2) must be connected to the host com- puter’s receive data line (...

  • Page 74

    Technical information 69/74 87-901-010-01 the controller can answer with the following response types; response type response length response value description logic 1 byte - after a read instruction of a logic window numeric 6 bytes - after a read instruction of a numeric window alphanumeric 10 byt...

  • Page 75

    Technical information 70/74 87-901-010-01 window meanings n. Read/ write data type description admitted values 000 r/w l start/stop (in remote/ mode the win- dow is a read only) start = 1 stop = 0 001 r/w l low speed activation (in remote/ mode the window is a read only) no = 0 yes = 1 (default = 0)...

  • Page 76

    Technical information 71/74 87-901-010-01 n. Read/ write data type description admitted values 167 r/w a stop speed reading activates / deactivates the pump speed read- ing after stop command 0 = disable 1 = enable (default = 0) 200 r n pump current in ma dc 201 r n pump volt- age in vdc 216 r n con...

  • Page 77

    Technical information 72/74 87-901-010-01 cleaning exterior the exterior surfaces of the tps-compact may be cleaned with mild detergents only. Interior internal dry scroll pump do not contain fluid for the cleansing of accumulated dust and debris. Run the pump periodically at atmosphere for a minute...

  • Page 78

    Technical information 73/74 87-901-010-01 again after 5000 h of operation. To check the tip-seal life you have just to read the win 358. Warning! If dangerous gases were being pumped, flush the pump with air or inert gas for at least 10 minutes prior to disassembly. To test the pumping system: 1. Ru...

  • Page 79

    Technical information 74/74 87-901-010-01 orderable parts tps-compact tv 81-m kf40 tv 81-m cff 2.75" tv 81-m iso 63 tv 81-m cff 4.5" tv 301 iso 100 tv 301 cff 6" tv 301 iso 160 tv 301 cff 8" 120 v 969-8217 969-8218 969-8219 969-8220 969-8221 969-8222 969-8223 969-8224 220 v 969-8225 969-8226 969-822...

  • Page 80

    Request for return 1. A return authorization number (ra#) will not be issued until this request for return is completely filled out, signed and returned to varian customer service. 2. Return shipments shall be made in compliance with local and international shipping regulations (iata, dot, un). 3. T...

  • Page 81

    Request for return failure report turbo pumps and turbocontrollers position parameters does not start noise vertical power: rotational speed: does not spin freely vibrations horizontal current: inlet pressure: does not reach full speed leak upside-down temp 1: foreline pressure: mechanical contact o...

  • Page 82

    Sales and service offices france and benelux varian s.A. 7 avenue des tropiques z.A. De courtaboeuf - b.P. 12 les ulis cedex (orsay) 91941 france tel: (33) 1 69 86 38 84 fax: (33) 1 69 86 29 88 from benelux tel: (31) 118 67 15 70 from benelux fax: (31) 118 67 15 69 canada central coordination throug...