1. DL manuals
  2. Varian
  3. Water Pump
  4. 969-9170
  5. Instruction Manual

Varian 969-9170 Instruction Manual

Manual is about: mini-task

Summary of 969-9170

  • Page 1

    Mini-task model 969-9170 model 969-9171 model 969-9172 87-900-962-01(a) october 2004 manuale di istruzioni bedienungshandbuch notice de mode d’emploi manual de instrucciones manual de instruÇÕes bedrijfshandleiding instrukstionsbog bruksanvisning instruksjon manual ohjekÄsikirja odhgies crhsews felh...

  • Page 2: Mini-Task

    Mini-task.

  • Page 5

    Istruzioni per l’uso ...................................................................................................................................1 gebrauchsanleitung ..................................................................................................................................

  • Page 6: Pompe Turbomolecolari

    Istruzioni per l'uso 1 87-900-962-01(a) indicazioni di sicurezza per pompe turbomolecolari le pompe turbomolecolari descritte nel seguente manuale di istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel c...

  • Page 7

    Istruzioni per l'uso 2 87-900-962-01(a) informazioni generali questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La v...

  • Page 8

    Istruzioni per l'uso 3 87-900-962-01(a) il mini-task può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare il mini-task in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 50 nm attorno al proprio asse. La turbopompa...

  • Page 9: Turbomolekularpumpen

    Gebrauchsanleitung 4 87-900-962-01(a) sicherheitshinweise für turbomolekularpumpen die in der folgenden gebrauchsanweisung beschriebenen turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen rotationsgeschwindigkeit in verbindung mit dem spezifischen gewicht ihrer rotoren über eine große menge kinetische...

  • Page 10

    Gebrauchsanleitung 5 87-900-962-01(a) allgemeine informationen dieser apparat ist für den fachmännischen gebrauch bestimmt. Vor dem gebrauch hat der benutzer dieses handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser nichtbeachtung der enthaltenen an...

  • Page 11

    Gebrauchsanleitung 6 87-900-962-01(a) bei vorhandensein von elektromagnetischen feldern ist die pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche informa- tionen siehe im anhang "technical information". Modell mini-task kann in jeder beliebigen position installiert werden. Modell mini-task ist stabi...

  • Page 12: Pompe Turbomoléculaires

    Mode d’emploi 7 87-900-962-01(a) normes de sécurité pour pompe turbomoléculaires les pompes turbomoléculaires décrites dans le manuel d'instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système...

  • Page 13

    Mode d’emploi 8 87-900-962-01(a) indications gÉnÉrales cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire four...

  • Page 14

    Mode d’emploi 9 87-900-962-01(a) la turbopompe à bride d'entrée iso doit être fixée à la chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le tableau suivant décrit, pour chaque type de collier, le nombre de colliers nécessaires ainsi que le couple de serrage prescrit. Bride type de collier n....

  • Page 15: Bombas Turbomoleculares

    Instrucciones de uso 10 87-900-962-01(a) indicaciones de seguridad para bombas turbomoleculares las bombas turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de ...

  • Page 16

    Instrucciones de uso 11 87-900-962-01(a) informaciÓn general este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por varian antes de usar el aparato. Varian se considera libre de posibles res...

  • Page 17

    Instrucciones de uso 12 87-900-962-01(a) el mini-task puede ser instalado en cualquier posición. Fijar el mini-task en posición estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija capaz de resistir ha un par de 50 nm en torno a su propio eje. La turbobomba con brida de ent...

  • Page 18: Bombas Turbomoleculares

    InstruÇÕes para o uso 13 87-900-962-01(a) indicações de segurança para bombas turbomoleculares as bombas turbomoleculares descritas no seguinte manual de instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de av...

  • Page 19

    InstruÇÕes para o uso 14 87-900-962-01(a) informaÇÕes gerais esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela varian antes de utilizar a aparelhagem. A varian não se responsabiliza pela...

  • Page 20

    InstruÇÕes para o uso 15 87-900-962-01(a) na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "technical information". Mini-task pode ser instalado em qualquer posição. Fixar a aparelhagem em posição está...

  • Page 21: Turbomoleculaire Pompen

    Gebruiksaanwijzingen 16 87-900-962-01(a) veiligheidsinstructies voor turbomoleculaire pompen de turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van ee...

  • Page 22

    Gebruiksaanwijzingen 17 87-900-962-01(a) algemene informatie deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet ...

  • Page 23

    Gebruiksaanwijzingen 18 87-900-962-01(a) in aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “technical information” voor meer informatie de mini-task moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "technical information"). De mini-task...

  • Page 24: Molekylære Turbopumper

    Brugsanvisning 19 87-900-962-01(a) sikkerhedsanvisninger for molekylære turbopumper de molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i sys...

  • Page 25

    Brugsanvisning 20 87-900-962-01(a) generel information dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af...

  • Page 26

    Brugsanvisning 21 87-900-962-01(a) hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “teknisk information” for yderligere oplysninger. Mini-task kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør mini-task i en stabil position ved at slutte turbopump...

  • Page 27: Molekylära Turbopumpar

    Bruksanvisning 22 87-900-962-01(a) säkerhetsanvisningar för molekylära turbopumpar de molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund a...

  • Page 28

    Bruksanvisning 23 87-900-962-01(a) allmÄn information utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador som helt eller delvis beror på åsidosättande av ...

  • Page 29

    Bruksanvisning 24 87-900-962-01(a) turbopumpen med iso-intagsfläns ska fästas vid vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar. Den följande tabellen beskriver olika typer av klamrar, nödvändigt antal klamrar och åtdragningsmoment. FlÄns typ av klammer ant. Åtdragnings -moment iso 63 dubbe...

  • Page 30: Turbomolekylær Pumper

    Brukerveiledning 25 87-900-962-01(a) sikkerhetsanvisninger for turbomolekylær pumper turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle fe...

  • Page 31

    Brukerveiledning 26 87-900-962-01(a) generell informasjon dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglen...

  • Page 32

    Brukerveiledning 27 87-900-962-01(a) turbopumpene med iso innløpsflens skal festes til vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante strammemomentet for de enkelte typer klemmer. Flens type klemme ant. Stramme- moment iso 63 dobbe...

  • Page 33: Turbomolekyylipumppujen

    KÄyttÖohjeet 28 87-900-962-01(a) turbomolekyylipumppujen turvaohjeet tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja ...

  • Page 34

    KÄyttÖohjeet 29 87-900-962-01(a) yleisiÄ tietoja tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydelli...

  • Page 35

    KÄyttÖohjeet 30 87-900-962-01(a) turbopumppu iso-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammioon kaksois- tai yksinkertaisilla kiinnikkeillä. Seuraavassa taulukossa ovat kaikki kiinnikemallit, kiinnikkeiden vaadittava määrä ja kiristysmomentti. Laippa kiinnike mÄÄrÄ kiristys- momentti iso 63 kaks...

  • Page 36: Μοριακές

    Odhgies crhshs 31 87-900-962-01(a) Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µ οριακές αντλίες στροβίλου , όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µ εγάλο ποσό κινητικής ενέργειας , λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασ µ ό µ ε το ειδικό βάρος για...

  • Page 37

    Odhgies crhshs 32 87-900-962-01(a) genikes plhrofories aut ÿ h suskeu ÿ proor ∂ zetai gia epaggelmatik ÿ cr ÿ sh. O cr ÿ sthj qa pr ◊ pei na diab£sei prosektik£ tij odhg ∂ ej tou parèntoj egceir ∂ diou kai opoiad ÿ pote £llh prèsqeth plhrofor ∂ a pou d ∂ nei h varian, prin apè th crhsimopo ∂ hsh thj...

  • Page 38

    Odhgies crhshs 33 87-900-962-01(a) h tourmpoantl ∂ a me fl£ntza eisèdou iso pr ◊ pei na sterewqe ∂ ston q£lamo kenoÚ m ◊ sw diplèn ÿ monèn dagk£nwn. H akèlouqh tamp ◊ lla perigr£fei, gia k£qe e ∂ doj dagk£nhj, ton apara ∂ thto ariqmè dagk£nwn kai me poio zeÚgoj bidèmatoj pr ◊ pei na sfictoÚn. Flantz...

  • Page 39

    HasznÁlati utasÍtÁs 34 87-900-962-01(a) biztonsági útmutató turbómolekuláris szivattyúkhoz a turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következ ő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás m ű ködése – pél...

  • Page 40

    HasznÁlati utasÍtÁs 35 87-900-962-01(a) ÁltalÁnos informÁciÓ a berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés m ű ködtetése el ő tt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a varian által biztosított bármely információt. A varian nem vonható felel ő sségre olya...

  • Page 41

    HasznÁlati utasÍtÁs 36 87-900-962-01(a) az iso bemeneti karimás turbószivattyút kapcsokkal vagy peckekkel kell rögzíteni a vákuumkamrához. A következ ő táblázat mindegyik rögzít ő eszközhöz megmutatja a kapcsok vagy peckek szükséges számát és a hozzátartozó rögzít ő nyomatékot. Karima rÖgzÍt Ő eszkÖ...

  • Page 42: Pomp Turbomolekularnych

    Instrukcja uzytkowania 37 87-900-962-01(a) wskazówki dotycz ą ce bezpiecze ń stwa dla pomp turbomolekularnych pompy turbomolekularne opisane w niniejszej instrukcji obs ł ugi posiadaj ą wysok ą energi ę kinetyczn ą spowodowan ą bardzo wysok ą pr ę dko ś ci ą obrotów razem z mas ą w ł a ś ciw ą wirni...

  • Page 43

    Instrukcja uzytkowania 38 87-900-962-01(a) ogÓlne informacje ta aparatura jest przeznaczona do u ż ytku zawodowego. U ż ytkownik musi przeczyta ć bardzo uwa ż nie niniejsz ą instrukcj ę ka ż d ą dodatkow ą informacj ę dostarczon ą przez firm ę varian przed u ż ytkowaniem aparatury. Firma varian uchy...

  • Page 44

    Instrukcja uzytkowania 39 87-900-962-01(a) − maksymalne ci ś nienie: 2 bary ponad ci ś nieniem atmosferycznym − temperatura: od +5 °c do +35 °c − wzgl ę dna wilgo ć 0 -95% (bez opar). W obecno ś ci pól elektromagnetycznych pompa musi by ć odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W ce...

  • Page 45: Turbomolekulární Výv

    P Ř Íru Č ka k pouŽitÍ 40 87-900-962-01(a) bezpe č nostní návod pro turbomolekulární výv ě vy turbomolekulární výv ě vy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otá č ivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotor ů . V p ř ípad ě...

  • Page 46

    P Ř Íru Č ka k pouŽitÍ 41 87-900-962-01(a) vŠeobecnÉ informace toto za ř ízení je ur č eno pro odborníky. Uživatel by si m ě l p ř ed použitím za ř ízení p ř e č íst tento návod a všechny další informace dodané firmou varian. Firma varian neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i č á...

  • Page 47

    P Ř Íru Č ka k pouŽitÍ 42 87-900-962-01(a) turbomolekulární výv ě va se vstupní p ř írubou iso se musí p ř ipevnit k vakuové komo ř e použitím p ř íslušných spon a p ř íchytek. Následující tabulka uvádí nezbytný po č et spon a p ř íchytek pro každé p ř íchytné za ř ízení a p ř íslušný utahovací mome...

  • Page 48: Turbomolekulárne Vývevy

    NÁvod k pouŽitiu 43 87-900-962-01(a) bezpe č nostný návod pre turbomolekulárne vývevy turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú ve ĺ ké množstvo kinetickej energie v ď aka vysokej otá č avej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, n...

  • Page 49

    NÁvod k pouŽitiu 44 87-900-962-01(a) vŠeobecnÉ informÁcie toto zariadenie je ur č ené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než za č nete zariadenie používa ť , pre č ítajte si návod na použitie a všetky ď alšie pokyny spolo č nosti varian. Spolo č nos ť varian nenesie žiadnu zodpovednos ť za akéko ...

  • Page 50

    NÁvod k pouŽitiu 45 87-900-962-01(a) turbovýveva so vstupnou prírubou iso musí by ť pripojená k vákuovej komore pomocou svoriek alebo kleštín. Nasledujúca tabu ľ ka ukazuje pre každý spôsob upevnenia potrebný po č et svoriek alebo kleštín a príslušný upev ň ovací krútiaci moment. PrÍruba upev Ň ovac...

  • Page 51: Turbomolekularne

    Navodila za uporabo 46 87-900-962-01(a) varnostna navodila za turbomolekularne č rpalke turbomolekularne č rpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko koli č ino kineti č ne energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifi č nimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sist...

  • Page 52

    Navodila za uporabo 47 87-900-962-01(a) sploŠne informacije oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval varian. Varian ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodi...

  • Page 53

    Navodila za uporabo 48 87-900-962-01(a) turbo č rpaklo z dovodno iso prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko ležiš č e s pomo č jo primerne varian strojne opreme. Naslednja tabela prikazuje število potrebnih držal in pritrjeval ter potreben navor za pritrjevanje. Prirobnica naprava za pritrjevanj...

  • Page 54: Turbomolecular Pumps

    Instructions for use 49 87-900-962-01(a) safety guideline for turbomolecular pumps turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunc...

  • Page 55

    Instructions for use 50 87-900-962-01(a) general information this equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by varian before operating the equipment. Varian will not be held responsible for any events oc...

  • Page 56

    Instructions for use 51 87-900-962-01(a) the turbopump with iso inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of clamps or claws. The following table shows, for each fixing device, the necessary number of clamps or claws and the relevant fixing torque. Flange fixing device n. Fixing torq...

  • Page 57

    Technical information description of the mini-task the mini-task pumping system consists of a pump with an integrated controller and a forepump and is available in three models which differ only in the high vacuum flange. The four models are: − model 969-9170 with kf 40 high vacuum flange; − model 9...

  • Page 58

    Technical information controller description the integrated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip micro- computer and is composed of a pcb which in- cludes a power supply with a 3-phase ac output, analog and input/output section, microprocessor and digital ...

  • Page 59

    Technical information note when the mini-task has been stored at a tempera- ture less than 5°c, wait until the mini-task has reached the above mentioned temperature. Mini-task outline the following figure shows the mini-task outline. 54 87-900-962-01(a).

  • Page 60

    Technical information graph of pumping speed vs inlet pressure graph of pressure vs time (with a pump down volume of 1 litre) 55 87-900-962-01(a).

  • Page 61

    Technical information inlet screen installation the inlet screens mod. 969-9300 and 969-9309 prevent the blades of the pump from being dam- aged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pump- ing speed by about 10%. The inlet screen is fitted in the upper pa...

  • Page 62

    Technical information for conflat flange connections we recommend using varian hardware. To facilitate assembly and dismantling, apply fel- pro c-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange. Note that the 2.75” cf flange has six blin...

  • Page 63

    Technical information interconnections input power connector (line type) the following figure show the input power connec- tor. P3 - vent this is a dedicated 24 vdc connector to control the optional vent valve. P5 – external fan this is a dedicated 24 vdc connector to supply an external fan. J5 - in...

  • Page 64

    Technical information speed setting : pwm input signal to set the pump speed. The pwm signal characteristics must be the following: • frequency: 100 hz +/-20% • ampitude: 0 - 24 v max • duty cycle range: from 25% to 75% corresponding to a pump speed from 250 hz (25%) to 1250 hz (75%) linearly. If an...

  • Page 65

    Technical information how to connect the open collector to the controller’s input here below there are the typical connections of the input of mini-task to an external device. Two cases are considered: 1. The customer supplies the 24 vdc 2. The customer does not supply the 24 vdc. Please note that o...

  • Page 66

    Technical information how to connect the outputs of the controller the following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.G. A led, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The figure example refers to the prog...

  • Page 67

    Technical information the field length is variable according to the data type as per the following table: data type field length valid characters logic (l) 1 ‘0’ = off ‘1’ = on numeric (n) 6 ‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right justified with ‘0’ alphanumeric (a) 10 from blank to ‘_’ (ascii) − (end of tran...

  • Page 68

    Technical information command: read pump status source: pc destination: controller (with address = 3) 02 83 32 30 35 30 03 38 37 stx addr window rd etx crc source: controller (with address = 3 in stop status) destination: pc 02 83 32 30 35 30 30 30 30 30 30 03 38 37 stx addr window data (status) etx...

  • Page 69

    Technical information n. Read/ write data type description admitted values 122 r/w l set vent valve on/off (on = closed) on = 1 off = 0 (default = 1) 123 124 reserved to varian service 125 r/w l set the vent valve operation automatic = 0 (see note 1.) on command = 1 (see note 2.) 126 r/w n vent valv...

  • Page 70

    Technical information use in presence of magnetic fields magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consump- tion by the motor, most of which is dissipated in the rotor. In general, therefor...

  • Page 71

    Request for return 1. A return authorization number (ra#) will not be issued until this request for return is completely filled out, signed and returned to varian customer service. 2. Return shipments shall be made in compliance with local and international shipping regulations (iata, dot, un). 3. T...

  • Page 72

    Request for return failure report turbo pumps and turbocontrollers position parameters does not start noise vertical power: rotational speed: does not spin freely vibrations horizontal current: inlet pressure: does not reach full speed leak upside-down temp 1: foreline pressure: mechanical contact o...

  • Page 73

    Sales and service offices argentina varian argentina ltd. Sucursal argentina av. Ricardo balbin 2316 1428 buenos aires argentina tel: (54) 1 783 5306 fax: (54) 1 786 5172 benelux varian vacuum technologies rijksstraatweg 269 h, 3956 cp leersum the netherlands tel: (31) 343 469910 fax: (31) 343 46996...