Varian triscroll 600 Installation And Operation Manual

Manual is about: dry scroll vacuum pump

Summary of triscroll 600

  • Page 1

    Varian triscroll 600 dry scroll pump (505)872-0037 idealvac.Com to our website idealvac.Com.

  • Page 2: Triscroll

    Copyright 2005 vacuum technologies dr af t 2/1 /0 5 triscroll ™ 600 series dry scroll vacuum pump triscroll is a trademark of vacuum technologies..

  • Page 3: Table Of Contents

    Iii triscroll 600 series vacuum pump table of contents declaration of conformity warranty ...................................................................Viii warranty replacement and adjustment..............Viii instructions for use ..................................................... 1 general...

  • Page 4

    Triscroll 600 series vacuum pump iv technical information ............................................... 33 electrical connections............................................ 36 single phase motor connection.......................... 36 three phase motor connection .......................... 37 mec...

  • Page 5: List Of Figures

    V triscroll 600 series vacuum pump list of figures figure caption page 1 interface drawing with dimensions . . . . . . 34 2 pumping speed curves . . . . . . . . . . . . . . . . 34 3 triscroll 600 series vacuum pump (single phase pump shown) . . . . . . . . . . . . . 35 4 single phase motor electrica...

  • Page 6

    Triscroll 600 series vacuum pump this page intentionally left blank..

  • Page 7: Declaration Of Conformity

    Declare under our sole responsibility that the product, erklären, in alleniniger verantwortung, daß dieses produkt, déclarons sous notre seule responsabilité que le produit, declaramos, bajo nuestra sola responsabilidad, que el producto, verklaren onder onze verantwoordelijkheid, dat het product, di...

  • Page 8: Warranty

    Triscroll 600 series vacuum pump viii warranty products manufactured by seller are warranted against defects in materials and workmanship for twelve (12) months from date of shipment thereof to customer, and seller’s liability under valid warranty claims is limited, at the option of seller, to repai...

  • Page 9: Instructions For Use

    1 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 instructions for use general information this equipment is designed for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by vacuum technologies before operating the equipment. Vacuum t...

  • Page 10: Installation Requirements

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 2 installation requirements safety do not remove or modify any safety or insulating equipment from the pump. To do so may create a serious safety hazard and may void the warranty. During operation, the following environmental conditions should not be...

  • Page 11

    3 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 table 1 lists the available ts-600 pump models and indicates the power cord to be used with each particular pump. Three phase pumps are shipped without a power cord. A three phase power cable kit, vacuum technologies part number s4789001, is availa...

  • Page 12: Operation

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 4 operation in order to reach ultimate vacuum, the pump must be left running for about one hour with the inlet sealed. Unlike conventional oil-sealed pumps, vacuum technologies’s dry scroll pumps do not have fluid to cleanse them of accumulated dust ...

  • Page 13: Anleitungen Zur Benutzung

    5 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 anleitungen zur benutzung allgemeine informationen dieses gerät ist zur benutzung durch fachkräfte bestimmt. Der benutzer muss vor der bedienung des gerätes das anleitungshandbuch und alle zusätzlichen von vacuum technologies zur verfügung gestellt...

  • Page 14: Installationsanforderungen

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 6 installationsanforderungen sicherheit sicherheits- oder isoliervorrichtungen dürfen nicht von der pumpe entfernt oder modifiziert werden, da sonst schwerwiegende sicherheitsrisiken entstehen und die garantie ihre gültigkeit verlieren kann. Während ...

  • Page 15

    7 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 in tabelle 3 sind die lieferbaren ts-600 pumpenmodelle aufgeführt. Die tabelle enthält außerdem informationen zu den spannungsversorgungskabeln, die mit jeder einzelnen pumpe verwendet werden müssen. Dreiphasenpumpen werden ohne spannungsversorgung...

  • Page 16: Betrieb

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 8 betrieb um ein optimales vakuum zu erreichen, muss die pumpe für etwa eine stunde mit abgedichtetem einlass laufen. Im gegensatz zu herkömmlichen ölgekapselten pumpen haben die trockenen scroll-pumpen von vacuum technologies keine flüssigkeit, um s...

  • Page 17: Instructions D'Utilisation

    9 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 instructions d'utilisation informations générales cet équipement est conçu pour être utilisé par des professionnels. L'utilisateur est tenu de lire ce manuel d'instructions ainsi que toutes les informations supplémentaires fournies par vacuum techn...

  • Page 18: Déballage Et Inspection

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 10 déballage et inspection le conteneur d'expédition est un carton double. 1. Après l'ouverture de la boîte extérieure, retirez le bourrage de mousse. 2. Ouvrez la boîte intérieure à l'aide d'une lame. 3. Soulevez la pompe et la base de contreplaqué ...

  • Page 19

    11 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 pendant l'opération, les conditions environnementales suivantes ne doivent pas être dépassées : le table 5 liste les modèles de pompes ts-600 disponibles et indique le câble devant être utilisé avec chaque pompe particulière. Les pompes triphasées...

  • Page 20: Opération

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 12 opération afin d'atteindre le vide complet, la pompe doit fonctionner pendant environ une heure avec l'entrée hermétiquement fermée. À la différence des pompes à huile conventionnelles, les pompes sèches de type « scroll » vacuum technologies n'on...

  • Page 21: Instrucciones De Uso

    13 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 instrucciones de uso información general este equipos está diseñado para que lo utilicen profesionales. El usuario debería leer este manual de instrucciones y cualquier otra información adicional suministrada por vacuum technologies antes de traba...

  • Page 22: Requisitos De Instalación

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 14 requisitos de instalación seguridad no desmonte ni modifique ninguno de los equipos de seguridad o aislamiento presentes en la bomba. Si lo hiciera puede crear un grave riesgo de seguridad, pudiendo invalidar la garantía. Durante su funcionamiento...

  • Page 23

    15 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 la tabla 7 enumera los modelos de bombas ts-600 disponibles e indica el cable de corriente que debe utilizarse con cada bomba en concreto. Las bombas trifásicas se envían sin cable de corriente. Está disponible un kit de cable de corriente trifási...

  • Page 24: Funcionamiento

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 16 funcionamiento para alcanzar el vacío máximo, la bomba debe dejarse en funcionamiento durante aproximadamente una hora con la admisión a la misma sellada. A diferencia de las bombas convencionales de hermeticidad por aceite, las bombas de sección ...

  • Page 25: Istruzioni Per L'Uso

    17 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 istruzioni per l'uso informazioni generali quest'attrezzatura è stata progettata per personale specializzato. Prima di mettere in funzione l'attrezzatura, l'utente deve leggere questo manuale di istruzioni e le eventuali informazioni aggiuntive fo...

  • Page 26

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 18 requisiti per l'installazione sicurezza non rimuovere o modificare i sigilli di sicurezza o di isolamento dalla pompa perché potrebbero verificarsi incidenti e si potrebbe invalidare la garanzia. Durante il funzionamento, è opportuno rispettare i ...

  • Page 27

    19 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 nella tabella 9 sono elencati i modelli di pompe ts-600 e sono indicati i cavi di alimentazione da utilizzare con ogni particolare pompa. Le pompe trifasi vengono spedite senza il cavo di alimentazione. È disponibile un kit di cavi di alimentazion...

  • Page 28: Funzionamento

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 20 funzionamento al fine di raggiungere il vuoto massimo, la pompa deve funzionare per circa un'ora con l'ingresso sigillato. A differenza delle pompe convenzionali a tenuta d'olio, le pompe a coclea a secco della vacuum technologies non hanno un flu...

  • Page 29

    21 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 使用仕様 概況概要 この設備は専門者に向っている。ユーザーはこの設備を 操作する前にこの取付仕様書及び vacuum technologies の提供する他の追加情報を良く読まなければならない。 これらの仕様に遵守しないこと、訓練されていない人に 間違って使用されること、許可されずにこの設備の運転 を妨げること、或は特定の国家標準にある操作規範と相 違して操作することによる如何なる事故に対して、 vacuum technologies は責任を負わない。 この triscroll™ 600...

  • Page 30

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 22 取付要求 安全 安全設備と絶縁設備を取外す或は修正しないでくださ い。そうすると、重大の安全危険と修理保証の無効を誘 発する可能性がある。 操作する時は以下の環境要求を適わなければならない。 警告 ❑ このポンプは空気と希望ガスのみに 適用する。爆発性ガス、可燃性ガス、 有毒ガス或は腐食性ガスに適用しな い。そうすると、人間への損傷、爆発 或は火事を誘発する可能性がある。 ❑ 取付場所は雨水、蒸気或は多すぎる 湿気に影響されやすくないところにす る。そうしないと、電撃、ショートと 身体傷害...

  • Page 31

    23 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 表 11 に利用可能な ts-600 ポンプの型式を示す。ま た、特定ポンプの電源コードを指定する。 三相誘発ポンプは電源コードが付かないが、vacuum technologies 部品の番号が s4789001 である三相電源 コードキットを配置する。このキットにはプラグを含ま ない。 回路遮断器 表 12 は各種の電圧で単相と三相ポンプ用電動機の遮 断器の必要容量をあげる。 u 表 11 ポンプ型式と電源コード ポンプ型 電動機電圧 プラグ型式 溶解切断 コンダクター サイズ コードマ...

  • Page 32

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 24 操作 到達真空を実現する為に、ポンプの入口を密封した場合 にポンプに約1時間ほど続いて運転さてください。 従 来 の 油 回 転(真 空)ポ ン プ と 違 っ て、vacuum technologies のスクロール型ドライ真空ポンプ は液体 で蓄積される塵と破片を浄化する必要がない。空気の環 境で一分或は二分ほどポンプを運転するとポンプのク リーニングを実現できる。定期的にポンプを浄化してく ださい。特定の情況に応じて、この時間を調整してくだ さい。 スタートアップ手順 1. 真空シス...

  • Page 33

    25 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 使用说明 一般信息 本设备供专业人员使用。用户在操作本设备之前应阅读 此安装手册以及 vacuum technologies 提供的任何其它 附加说明。对于因不遵照这些说明、未经培训人员不当地 使用、未经授权而擅自干扰本设备操作或执行与特定国 家标准要求的操作相违反的操作而导致的任何事故, vacuum technologies 概不负责。 该 triscroll™ 600 为干涡管真空泵。此泵适用于泵送空气 或惰性气体。该泵不用于泵送有毒气体、腐蚀性气体、爆 炸性气体或含颗粒状物质气体。...

  • Page 34

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 26 安装要求 安全 请勿拆卸或改动泵中的任何安全或绝缘装置。否则,可能 会造成严重的安全隐患并可能使保修失效。 操作期间,不应超出以下环境条件: 警告 ❑ 此泵仅用于泵送空气和惰性气体,不 用于泵送爆炸性气体、易燃气体、有毒 气体或腐蚀性气体。否则,可能导致人 身伤害、爆炸或火灾。 ❑ 安装场所不能易遭受雨淋、蒸汽或湿 度过高。否则,可能导致电击、短路和 严重的人身伤害。 ❑ 在检查或维修泵之前,确保断开泵的 电源。 ❑ 每当对泵进行布线时,请咨询合格的 电气技师。 注意 尽管该泵可以泵送大气...

  • Page 35

    27 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 表 13 列出了可用的 ts-600 泵型号,并指出每种特定泵 使用的电源电缆。 三相泵未随附电源电缆。可向客户提供 vacuum technologies 部件号为 s4789001 的三相电源电缆套件。 此套件不包括插头。 断路器 表 14 列出了各种电压单相和三相泵用电动机所需的断路 器容量。 表 13 泵型号和电源电缆 泵型号 电动机电压 插头类型 熔断 导体尺寸 电缆标记 电缆长度 pts06001univ 100-115 vac nema 5-15p - 14 号标准直径 ul...

  • Page 36

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 28 操作 为了实现极限真空,必须在密封泵吸入口的情况下使泵 保持运行大约一小时的时间。 与传统油封泵不同的是,vacuum technologies 的干涡管 泵无需使用液体冲洗其中所沉积的灰尘和碎屑。在大气 环境中定期运行泵一或两分钟即可实现对泵的清洁。定 期冲洗泵并根据特定情况调整此时间安排。 启动过程 1. 确保关闭真空系统隔离阀。 2. 打开泵的电源。 3. 打开隔离阀。 关机过程 1. 关闭真空系统隔离阀。这可以防止碎屑由于传送至 真空系统而进入泵体内。 2. 关闭泵的电源。 维护 ...

  • Page 37

    29 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 사용설명 일반정보 본 설비는 전문인원 사용으로 제공합니다 . 사용자는 본 설비를 조작하시기 전에 본 설치 안내서 및 vacuum technologies 에서 제공한 기타 모든 추가정보들을 읽으 셔야 합니다 . 이러한 설명에 따르지 않았거나 훈련 받지 않은 인원의 부적합 사용 , 마음대로 본 설비에 지장을 주 거나 특정국가의 표준을 위하여 제공한 조작과 반대인 조 작으로 인한 임의의 사고에 대하여 vacuum technologies 에서는 ...

  • Page 38

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 30 설치요구 안전장치 펌프의 임의의 안전 및 절연장치를 뜯어내거나 고치지 말 아 주십시오 . 그렇지 아니할 경우에는 심한 사고를 빚어 낼 가능성이 있으며 품질 보증이 효력을 잃을 가능성이 있습니다 . 조작기간에 하기의 환경요구를 넘지 말아 주십시오 : 경고 ❑ 본펌프는공기나불활성기체를펌 핑하는데적용되고유독기체 , 부식성 기체 , 폭발성기체를펌핑하는데사용 하지않습니다 . 이러한기체들은인신 상해 , 폭발및화재를일으킬수있습니 다 . ❑ 설치장소는비...

  • Page 39

    31 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 표 15 에서는 사용이 가능한 ts-600 펌프 모델과 매개 특 정 펌프에 사용되는 코드를 기록하였습니다 . 삼상펌프에는 코드가 함께 들어있지 않고 vacuum technologies 부품번호가 s4789001 인 삼상전원 케이블공 구세트를 제공하였습니다 . 이 세트에는 플러그가 포함되 지 아니합니다 . 브레이커 표 16 에서는 각종 전압의 단상과 삼상 펌프용 발동기가 수요하는 브레이커 용량을 열거하였습니다 . 깊 15 펌프모델및코드 펌프...

  • Page 40

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 32 조작 극한 진공을 실현하기 위하여 반드시 펌프 흡입구를 밀폐 한 상태에서 펌프를 약 한 시간 가량 운행하여야 합니다 . 전통적인 기름밀폐 펌프와 상이한 점은 vacuum technologies 의 건조 소용돌이 펌프는 액체를 사용하여 그 중에 누적된 먼지와 부스러기를 세척할 필요가 없습니 다 . 대기 환경 중에서 정기적으로 펌프를 1-2 분간 운행하 면 펌프에 대한 세척을 완성할 수 있습니다 . 정기적으로 펌프를 세척하고 특정 상황에 따라...

  • Page 41: Technical Information

    33 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 technical information table 17 specifications model triscroll™ 600 series dry scroll vacuum pump interface dimensions see figure 1 peak pumping speed 50 hz: 420 l/m, 25.2 m 3 /hr (14.8 cfm) 60 hz: 500 l/m, 30 m 3 /hr (17.7 cfm) media clean air. No...

  • Page 42

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 34 figure 1 interface drawing with dimensions figure 2 pumping speed curves 355 (13.98) 13 (.50) 22 (.85) intake (nw40) nw25 exhaust extension included but not installed exhaust ( 3 / 8 npt) port swivels 360 ø300 (ø11.80) 472 (18.56) three phase 472 ...

  • Page 43

    35 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 figure 3 triscroll 600 series vacuum pump (single phase pump shown) 1. Cowling screws; m5 (3) 2. Cowling 3. Inlet (nw40) 4. Inlet screen 5. Nw25 exhaust adapter 6. Bearing purge port (1/4" national pipe thread) 7. Pump frame 8. Frame screws; m6 (4...

  • Page 44: Electrical Connections

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 36 electrical connections wire the motor and electrical interlocks (if applicable) in accordance with local electrical codes and the relevant electrical component manufacturer’s instructions. Table 18 lists the full load motor currents at various vol...

  • Page 45

    37 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 three phase motor connection the pump can be configured for low voltage, 200 vac to 230 vac, or for high voltage, 380 vac to 415 vac and 460 vac. As supplied from the factory, the pump is configured for low voltage. Figure 5 shows the electrical c...

  • Page 46: Mechanical Connections

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 38 mechanical connections pump location locate the pump on a firm, level surface. Mounting holes provided in the frame can be used to provide permanent attachment. The rubber mounts on the frame can be removed if desired. Rotation of the pump inlet w...

  • Page 47: Gas Ballast

    39 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 wiring using the data in table 19, verify that the vpi valve chosen is compatible with the triscroll supply voltage and frequency. Then, locate the proper wiring diagram to use (figure 4 on page 36 or figure 5 on page 37). 1. Remove the three scre...

  • Page 48: Troubleshooting

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 40 troubleshooting table 20 contains a list of possible problems, their probable causes, and corrective actions. Table 20 troubleshooting chart problem probable cause corrective action pump won’t start circuit breaker open close breaker. Identify cau...

  • Page 49: Maintenance

    41 triscroll 600 series vacuum pump dr af t 2/4 /0 5 maintenance general information vacuum technologies triscroll 600 series pumps are designed to provide years of trouble-free service if maintenance pro- cedures and intervals are observed. Bearing grease replenishment and tip seal replacement is r...

  • Page 50

    Dr af t 2/4 /0 5 triscroll 600 series vacuum pump 42 factory service options table 23 lists the factory-rebuild service and advance exchange of complete triscroll 600 series pumps, as well as factory service options that vacuum technologies offers. Accessories the accessories listed in table 24 are ...

  • Page 51

    Request for return health and safety certification 1. Return authorization numbers (ra#) will not be issued for any product until this certificate is completed and returned to a varian, inc. Customer service representative. 2. Pack goods appropriately and drain all oil from rotary vane and diffusion...

  • Page 52

    Request for return health and safety certification failure report (please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis): t urbo p umps and t urbocontrollers i on p umps / controllers v alves / components l eak d etectors i nstruments a ll o ther v aria...

  • Page 54

    Sales and service offices 12/04 canada central coordination through: varian, inc. 121 hartwell avenue lexington, ma 02421 usa tel: (781) 861 7200 fax: (781) 860 5437 toll free: (800) 882 7426 china varian technologies - beijing room 1201, jinyu mansion no. 129a, xuanwumen xidajie xicheng district be...