Varian Turbo-V 2000 HT Instruction manual - page 25
KÄYTTÖOHJEET
20
87-900-969-01
Varmista, että pumppu soveltuu tarkoitettuun käyttöön.
Pumppu on suunniteltu käytettäväksi PVD-
pumppausjärjestelmissä tai yleensä tarkoituksiin, joissa
vaaditaan "puhdasta" tyhjiötä. Ota yhteys Varian Vacuum
Technologies -yritykseen tai jälleenmyyjään, jos pumppua
halutaan käyttää muihin tarkoituksiin.
Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se
joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai
aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa
räjähdys- tai tulipalovaara.
Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä
koskevia ehtoja:
-
maksimipaine: 2 bar, paitsi atmosfäärinen paine
-
lämpötila: + 5°C - +35°C
-
suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä).
Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän
tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical
Information“-liitteestä.
Sarjan V2000HT turbomolekyylipumppuja tulee käyttää
ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa (sarja 969-
9462, 969-9562) ja niiden täytyy olla yhdistettyinä
pääpumppuun (katso kaaviota osasta "Technical Information").
Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
!
!
!
!
VAARA!
Pumpun antama tehotaso tulee sovittaa pumpattuun
kaasutyyppiin. Valitse valvojan (ks. valvojan käsikirja) avulla
ILMA tai ARGON (oletus: ARGON). Jos haluat käyttää
pumppua muilla kaasuilla, ota yhteys Varian-yritykseen.
Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä
turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan,joka
kannattaa 30000 Nm momenttia akselinsa ympärillä, tai
käyttäen tarkoitukseen sopivia lisävarusteita sen
kiinnittämiseen.
ISOF-imulaipalla varustettu turbopumppu tulee kiinnittää
tyhjökammioon 12 teräsruuvilla M10, joiden luokka ei ole alle
8.8 (
s
r
= 800 N/mm
2
). Suosittelemme 22 Nm
kiristysmomenttia.
Torbopumppu ConFlat siaääntilolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammariin sopivien Varian mekaanisien varusteiden
avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information”. – liittestä.
Lisälaitteiden asennuksen ohjeet ovat nähtävissä "Technical
Information" osassa.
KÄYTTÖ
Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet
löytyvät valvojan käsikirjasta.
Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa.
Parempien rajapaineiden saavuttamiseksi pumpun kotelo
voidaan kuumentaa käyttämällä lisätilauksesta saatavaa
kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana
sisääntulolaipan ja roottorin lämpötila ei saa olla yli 120°C.
Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen.
!
!
!
!
VAARA!
Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin
kuumentamisen aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan
henkilöiden loukkaantumisia.
!
!
!
!
HUOMIO!
Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai
jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia.
Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla
alle 2 bar:ia (paitsi atmosfäärinen paine).
!
!
!
!
HUOMIO!
Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan
aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua.
!
!
!
!
HUOMIO!
Aggressiivisten kaasujen pumppausta varten nämä pumput on
varustettu sopivalla aukolla jonka läpi tulee kuljettaa pumppuun
ei-aktiivisia kaasuja (typpi tai argooni) jotta laakerit suojataan
(katso liite “Technical information”).
!
!
!
!
VAARA!
Jolloin pumppua käytetään myrkyllisten, tulenvaarallisten ja
radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka
kaasuun sopivaa menettelytapaa.
Älkää käytä pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä.
HUOLTO
Sarjan Turbo-V2000HT pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa.
Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen valtuutettu
henkilö.
!
!
!
!
VAARA!
Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä
verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen
tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä
pysähtymistä ja että pumpun pintalämpö on alle 50°.
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin
korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka
mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen
tilalle.
HUOMAUTUS
Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai
advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti
täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon
"Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä
ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää
pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä.
Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa kansallisen
lainsäädännön määräämällä tavalla.
!
!
!
!
VAARA!
Älä koskaan aseta sormiasi tai muita esineitä turbopumpun
syöttöaukon sisään, sillä ne saattavat ruhjoutua pahasti.
Suosittelemme pikkuisen suojaverkon käyttöä
(valinnainen), mikäli syöttöaukossa käytetään
tärinänvaimenninta tai taipuisia metallipalkeita. Kiinnitä
turbopumppu aina jalustaan kiinni.
EI!