Varian Turbo-V250SF Instruction manual - page 9
GEBRAUCHSANLEITUNG
4
87-900-881-01(B)
Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V 250SF dür-
fen ausschließlich mit einer der Varian-Spezialsteuerungen
betrieben werden (Baureihen 969-9423, 969-9504, 969-9523,
969-9425 oder 969-9866) und müssen an eine Primärpumpe
angeschlossen werden (siehe Schema “Technical Informati-
on”).
Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden.
Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position, in-
dem Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen Ge-
genflansch anschließen, der um die eigene Achse einem
Drehmoment von 1000 Nm um seine eigene Achse aushält,
oder den als Option erhältlichen Bausatz für die Befestigung
am Sockelteil benutzen
Turbopumpen mit ISO-Eingangsflansch müssen mittels doppel-
ten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer an-
geschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle sind die
Anzahl der jeweils erforderlichen Klemmschellen sowie der jewei-
lige Anzugsmoment angegeben.
FLANSCH SCHELLENART ANZAHL
ANZUGSMOMENT
ISO 100
Doppelklemme mit
NM10-Gewinde
4 22
Nm
Einzelklemme
mit
NM8-Gewinde
8 11
Nm
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem
speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. Weitere Hinweise siehe Anhang
“Technical Information”.
Wenn die Pumpen über ihr Unterteil installiert werden sollen,
müssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M4-Schrauben ein-
gesetzt werden. Die Schrauben müssen eine Dehngrenze von
500N/mm
2
haben und mit einem Anzugsmoment 0,9 Nm an-
gezogen werden.
Installation Sonderzubehör: siehe Anhang “Technical Informa-
tion”.
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpen-
gehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt wer-
den.
Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120°C
nicht überschreitet, sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsys-
temen die TP mit Wasserkühlung arbeiten.
!
!
!
!
GEFAHR!
Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht
Verbrennungsgefahr.
!
!
!
!
ACHTUNG!
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß muß kleiner als 2 bar sein.
!
!
!
!
ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
!
!
!
!
ACHTUNG!
Zum Pumpen von aggressiven Gasen dürfen nur Sonderaus-
führungen der Pumpe Turbo-V 250SF benutzt werden. Diese
Pumpen haben einen Anschluß, durch die ein Edelgasstrom
von 0,4 bis 1 mbar ltr/sec fließen muß.
WARTUNG
Die Pumpen der Baureihe Turbo-V 250SF sind wartungsfrei.
Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisierten Fachkräften
vorgenommen werden.
!
!
!
!
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden.
ANMERKUNG
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt wer-
den. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der ein-
schlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
!
!
!
!
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen
Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder
irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird
empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzube-
hör). Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder
eines flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die
Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert sein.
NEIN!