Varian TV 551 Instruction Manual - page 9
GEBRAUCHSANLEITUNG
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87-900-934-01(D)
BEFESTIGUNG DER PUMPE
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GEFAHR!
Wenn ein Läuferschaden auftritt, könnte die Verbindung zwi-
schen der Pumpe und dem System mit einem erheblichen
Drehmoment belastet werden. Setzt die Verbindung diesem
Drehmoment keinen ausreichenden Widerstand entgegen,
besteht die Möglichkeit, dass sich die Pumpe vom System oder
der Motor vom Pumpengehäuse löst. In diesem Fall könnten
Metallsplitter von der Pumpe oder vom System geschleudert
werden, die schwere Schäden oder den Tod und/oder Schäden
an benachbarten Geräten zur Folge haben könnten.
TV 551/701 Navigator in einer stabilen Position befestigen. Den
Eintrittsflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Sys-
tems montieren. Diese Verbindung soll einem Drehmoment von
8.600 Nm um die eigene Achse standhalten.
Der ISO-K-Flansch kann zum Beispiel mit hochfesten Stahlklem-
men befestigt werden (Typ Modell Varian IC 63250 DCMZ). Die
nachstehende Tabelle gibt an, wie viele Klemmen IC 63250
DCMZ für jeden Flansch erforderlich sind und mit welchem
Anzugsmoment sie festzuziehen sind.
FLANSCH ANZ. ANZUGSMOMENT
ISO 100
16
35 Nm
ISO 160
10
35 Nm
ISO 200
8
35 Nm
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem spe-
ziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer
anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im An-
hang "Technical Information".
Modell TV 551/701 Navigator kann in jeder beliebigen Position
installiert werden.
HINWEIS
Modell TV 551/701 Navigator kann nicht mittels seines Sockels
befestigt werden.
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ACHTUNG!
Der TV 551/701 Navigator gehört zur zweiten Installationsklas-
se (Überdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen
ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung ange-
schlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Der TV
551/701 Navigator hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und
die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise ange-
schlossen werden müssen, sodaß kein Teil unter Spannung
zugänglich ist . Sicherstellen, daß die Isolierung der an den TV
551/701 Navigator angeschlossenen Vorrichtung auch bei
einer Einzelstörung ausreichend isoliert, wie es von der Richtli-
nie EN 61010-1 vorgesehen wird.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen
und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der
eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Tempera-
tur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.
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GEFAHR!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist. Während
des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße
Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr.
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ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen
Druck) betragen. Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die
Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum
Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist
(siehe Anhang "Technical Information").
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GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren
oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige
Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen.
Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfä-
higen Gasen verwendet werden.
Einschaltung und Gebrauch von Modell TV
551/701 Navigator
Zur Einschaltung von Modell TV 551/701 ist es mit der erforder-
lichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute
Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock-
und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.
Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus "Soft
Start", der sich nach dem Anlaufzyklus selbsttätig abschaltet.
Daher erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanläufe ohne den
Modus "Soft Start". Um die Pumpe erneut im Modus "Soft Start"
zu starten, ist dieser Modus mittels der Software wieder frei-
zugeben (siehe Abschnitt "RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information").
Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 551/701
gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen
des System an:
- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be-
trieb.
- Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
“Waiting for Interlock”.
- Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Stoppen von Modell TV 551/701 Navigator
Zum Stoppen von Modell TV 551/701 Navigator ist die Versor-
gungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt
für den sofortigen Pumpenstopp.
Not-Aus
Zur Stillsetzung von Mod. TV 551/701 Navigator in Notsituatio-
nen ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen.
WARTUNG
Modell TV 551/701 Navigator erfordert keine Wartung. Eventu-
elle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausge-
führt werden.
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GEFAHR!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-
tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan-
ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein
generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System
zur Verfügung stellt.
HINWEIS
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Um-
tauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und
Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die
örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpa-
ckung des Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein-
schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.